基本信息

• 标准号：

  GB/T 42158-2023

• 标准名称：

  微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

• 标准类别：

  国家标准(GB)

• 英文名称：

  Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

• 标准状态：

  现行

• 发布日期：

  2023-03-17

• 实施日期：

  2023-07-01

• 出版语种：

  简体中文

• 下载格式：

  .pdf .zip

• 下载大小：

  4.96 MB

标准简介

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。 本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

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